第一百零八章 積體電路,成!(求訂閱!)

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眼看著到中午了,那去取矽片的同志也沒回來,郭飛便只好先帶著劉研究員和徐研究員三個人去了食堂。

可能是廠長吩咐了中午做些好的來安撫工廠同志們的情緒,肉眼可見的食堂裡打出來的飯菜多出了些肉粒,甚至食堂還弄了些紅燒肉單獨售賣,雖然一小盤要四毛錢,可去買的人還是絡繹不絕。

郭飛也要了三盤紅燒肉,端到劉研究員和徐研究員面前,三人用窩窩頭沾著醬汁,美美的吃了起來。

在大廳裡,幾乎所有人都在小聲討論著那今天上午發生的事情。

“哎,老劉,你們車間有領導被帶走嗎?”

“別提了,我們車間副主任被帶走了,你們財務處呢?”

“一樣,我們副主任也被帶走了,這是咋回事啊!”

整個食堂裡幾乎都在重複這樣的對話,讓食堂裡的氣氛瞬間變得凝重了起來。

郭飛一邊啃著窩窩頭,一邊豎起耳朵聽著身旁人的說話聲,徐研究員也聽見,小聲問著郭飛:“郭飛同志,今天你們工廠怎麼了,怎麼有那麼多同志被帶走了啊?”劉研究員還是沉浸在吃飯中,對於這些事情沒有一絲絲的好奇。

郭飛看著一臉求知慾的徐研究員,瞬間明白徐研究員為什麼前幾年因為運動而被逮捕了,委婉地說道:“沒咱們事,咱們吃飯就行!等組織公正的審判吧!”

徐研究員這才停下了詢問,跟著劉研究員一起悶頭吃起了飯。

吃完飯,拿水簡單的沖洗了飯盒後,回到了車間,又等了好長一段時間,那去取矽片的同志才拎著個箱子跑回了車間。

早就等的不耐煩的劉研究員上前一下子就把那箱子奪了下來,跑到那一堆儀器面前準備開始第一次積體電路的製造。

這積體電路說簡單也簡單,說複雜也複雜,關鍵之處就在於光刻機!

這批從漂亮國來的儀器中的光刻機也算得上代表了全世界最先進的水平,在這臺儀器下積體電路圖形線寬才3微米,而電晶體更是能做到較之以前縮小了1倍有餘。

可儘管是這樣,現在的技術水平還是依舊遠遠低於後世的水平,遠沒有沒辦法像後世那樣在像指甲蓋那麼小的晶圓裡封裝將近數十萬,數百萬或數十億個元件。

郭飛和正在操作儀器的劉研究員看著箱子裡裝著的四寸的矽片,不禁有種喜從天降的感覺,那是因為矽片越大,對於後面積體電路在光刻機下的操作下能夠製造的電晶體便越多!

用最脫俗的話來講光刻工藝像是一份要沖洗的照片,將掩膜版上的幾何圖形轉移到晶圓表面的光刻膠上。光刻膠處理裝置把光刻膠旋塗到晶圓表面,再經過分步重複曝光和顯影處理之後,在晶圓上形成需要的圖形,最後得到的晶圓就形成了積體電路。

而劉研究員正是按照這光刻工藝來操作的,只見劉研究員操控著光刻膠處理裝置小心翼翼地把光刻膠旋塗到晶圓表面,在旋塗時劉研究員連大氣也不敢出一聲,靜靜的等待著光刻膠藉助離心力的作用伸展到整個矽片表面,在持續旋轉甩去多餘的光刻膠之後,矽片上就形成了均勻的光刻膠膠膜覆蓋層,劉研究員擦了擦額頭上出的汗珠,眯起眼睛繼續繼續著下一個步驟——軟烘。

軟烘的目的就在於除去光刻膠中殘餘的溶劑,提高光刻膠的粘附性和均勻性。

在操作完這一個步驟後,最重要的一個環節來了,那就是曝光,利用紫外線讓光刻膠的曝光反應,透過遮掩版,將電路圖均勻的刻在矽片上。

劉研究員在進行完軟烘後,先是暫停了手上的動作,咽了口口水,擦了擦手心的汗,深深呼出口氣,繼續緩緩地移動這矽片放到紫外燈下,曝光開始了!

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在紫外線燈光的照射下,矽片漸漸光滑的表面上出現了遮掩版上電路的痕跡,直到整個流程下來後,劉研究員這才緩緩將瘋狂跳動的心臟按壓了下來。

看來遮掩版沒雕刻錯,那接下來的顯影和堅膜就相比之下變得簡單了起來,等到這些都做完之後,在一旁的郭飛和徐研究員再一次感受到了心臟跳到嗓子眼的感覺,因為最關鍵的一個步驟來了,之前稱曝光是最重要的環節,而整個光刻工藝裡最關鍵的環節就是檢測,只有透過檢測的矽片才能進行下面的步驟,不合格的則直接再清洗掉之後再重複之前的環節。

只見劉研究員在檢測臺上檢測了半天的矽片後,面帶著笑容對著郭飛和徐研究員點了點頭,然後繼續趁熱打鐵,開始了最後的兩個步驟刻蝕和去膠。

刻蝕機這時就派上了用場,由於很難利用惰性氣體製造等離子體轟擊光刻膠開出的視窗與矽片發生反應從而去掉暴露的表面材料,所以劉研究員直接採取了透過液態化學劑,用化學方式去除掉表面材料。

過了片刻後,劉研究員一手抓起身上披著的厚棉服不停地揮舞著,高興大喊著:“成了!成了!”

郭飛和徐研究員都瞪大了眼睛看著手舞足蹈的劉研究員,有些不敢置信的喊道:“成了?真的嗎?”

劉研究員從那堆儀器旁邊跑了下來,一下子就抱住了郭飛和徐研究員,大聲吼道:“成了!真的!我們研究出了第一塊大規模積體電路!”

郭飛和徐研究員愣了一會,渾身有些顫抖的大笑了起來,“太好了!成了!成了!”

三個人就像傻子一樣站著哈哈大笑起來,引得旁邊工作的工人同志們都用詫異的眼神看著這三個人,還以為他們得了失心瘋呢!

片刻後,三人走到乘放著那積體電路的儀器旁邊,靜靜地看著這枚簡潔卻又複雜的小小的矽片,郭飛指著這小小的矽片感慨道:“這麼個小東西,卻是製造小型電腦,製造數控機床的關鍵!”

其餘兩人也點了點頭,徐研究員一邊豎著大拇指,一邊感慨著,“這麼小小的東西,卻擁有著舉足輕重的重要性,有了這個,起碼在全世界的工業裡咱們都算得上這個!”

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